תנור צינור אופקי
2. ציוד תנור תיבה: 1L -36 l
3. טמפרטורת עבודה יכולה להגיע ל 1200 מעלות -1700 תואר
*** מחירון עבור מלא לעיל, ברר מאיתנו להגיע
תיאור
פרמטרים טכניים
מבוא לתנור צינור אופקי, זהו ציוד חימום הנמצא בשימוש נרחב במדע חומרים, הנדסה כימית, ייצור מוליכים למחצה ושדות אחרים. המאפיין המבני שלה טמון בסידור האופקי של צינורות תנור, המחוממים על ידי אלמנטים חימומיים לטיפול בחומרים בתוך צינורות הכבשן. זה מחמם את הדגימה דרך צינורות תנור מסודרים אופקית, שיש להם את היתרונות של בקרת טמפרטורה מדויקת, חימום אחיד ותפעול קל.
במיוחד בייצור מוליכים למחצה, יש לו מגוון רחב של יישומים וערך משמעותי. המבנה והפונקציה הייחודיים שלו הופכים אותו בעל ערך רב ביישומים כמו חישול רקיק סיליקון, טיפול בחום, תהליך מתכות, תהליך תחריט ותהליך אריזה. יחד עם זאת, בקרת הדיוק הגבוה, עיבוד יעיל גבוה, יכולת הסתגלות טובה ויציבות מצוינת של ה- IT גם הופכים אותו לאמין ויציב ביותר בייצור מוליכים למחצה.
פָּרָמֶטֶר
עיקרון עבודה
העיקרון העובד של אתנור צינור אופקימבוסס על עקרונות הולכת החום והסעה. כאשר אלמנט החימום מופעל לחימום, חום מועבר לצינור הכבשן ומדגם באמצעות הולכה תרמית, ואילו האוויר החם בתוך הכבשן מפיץ באופן שווה את החום לאורך כל הכבשן באמצעות הסעה.
תהליך חימום:
לאחר מופעל אלמנט החימום, הוא מייצר חום ומעביר אותו לצינור הכבשן. לאחר חימום צינור הכבשן, הוא מעביר חום לדגימה בפנים. בשל המוליכות התרמית המצוינת של צינור הכבשן, הדגימה יכולה להגיע במהירות לטמפרטורת הסט.
בקרת טמפרטורה:
מערכת בקרת הטמפרטורה עוקבת אחר הטמפרטורה בתוך הכבשן בזמן אמת ומתאימה את כוחו של אלמנט החימום על סמך ההבדל בין טמפרטורת הקבוע לטמפרטורה הנמדדת. כאשר הטמפרטורה הנמדדת גבוהה יותר מהטמפרטורה שנקבעה, הבקר מקטין את כוחו של אלמנט החימום; כאשר הטמפרטורה הנמדדת נמוכה מהטמפרטורה שנקבעה, הבקר מעלה את כוחו של אלמנט החימום. על ידי התאמת רציף של כוחו של אלמנט החימום, ניתן לשמור על הקבועה בטמפרטורה בתוך הכבשן.
בקרת אטמוספרה:
מערכת בקרת האטמוספרה שולטת בסביבת האטמוספרה בתוך הכבשן על ידי התאמת קצב זרימת הגז וסוג. לדוגמה, בתהליך ייצור המוליכים למחצה, יש צורך לשלוט בתכולת אדי החמצן והמים בתוך הכבשן כדי למנוע חמצון וזיהום מדגם. מערכת בקרת האטמוספרה יכולה לשלוט במדויק בסביבת האטמוספירה בתוך הכבשן כדי לעמוד בדרישות התהליך.
היישום הספציפי של ריהוט צינור אופקי בייצור מוליכים למחצה
ריהוט הצינור האופקי כולל מגוון רחב של יישומים בייצור מוליכים למחצה, והמבנה והפונקציה הייחודיים שלו הופכים אותו לאחד מהציוד החיוני בתהליך עיבוד המוליכים למחצה.
מבנה בסיסי ועקרון עבודה
ריהוט צינור אופקי הוא ציוד עיבוד מוליכים למחצה נפוץ, שנראה כמו צינור ארוך ובעל תא תגובה בטמפרטורה גבוהה בפנים. המכשיר נוקט בשיטת בקרת אטמוספירה, וניתן לבחור סביבות אווירה שונות על פי דרישות עיבוד שונות כדי להשיג את אפקט העיבוד הטוב ביותר.
העיקרון העובד של ריהוט צינור הוריונטל הוא לחמם את המגיבים בתוך חלל הכבשן, מה שגורם להם לעבור תגובות כימיות או שינויים פיזיים בטמפרטורות גבוהות, ובכך להשיג את מטרת העיבוד. בייצור מוליכים למחצה, ריהוט צינורות אופקיים משמשים בעיקר לחישול וטיפול בחום בפליקי הסיליקון.
יישום בחישול רקיק סיליקון
שפר את שלמות סריג הסיליקון
רקיק הסיליקון הוא אחד החומרים החשובים בתעשיית המוליכים למחצה, ואיכותו וביצועיו משפיעים ישירות על האמינות והביצועים של מכשירי מוליכים למחצה. במהלך העיבוד, פליקי הסיליקון מועדים למתיחת גבול התבואה כתוצאה ממתח, מה שעלול להוביל לשבר ולנזק של גבישי הסיליקון. באמצעות חישול בטמפרטורה גבוהה בתנור צינור הוריונטל, ניתן להסיר לחץ ברקלת הסיליקון, לשמור עליו על כנו ולהימנע מפגיעה בסריג רקיק הסיליקון.
במהלך תהליך החישול, פסק הסיליקון ממוקם בתוך תנור צינור הוריונטל ונשמר בטמפרטורה גבוהה למשך תקופה מסוימת, ומשחרר בהדרגה את הלחץ הפנימי של רקיק הסיליקון ומארגן מחדש את הסריג, ובכך משפר את שלמות הסריג של רגל הסיליקון.
שיפור התכונות החשמליות של פליקי הסיליקון
המאפיינים החשמליים של פליקי הסיליקון הם אחד הגורמים העיקריים המשפיעים על הביצועים של מכשירי מוליכים למחצה. על ידי חישול בתנור צינור הוריונטל, ניתן לשפר את התכונות החשמליות של פרוס הסיליקון, וניתן לשפר את המוליכות והיציבות שלהם.
במהלך תהליך החישול, פסק הסיליקון מגיב עם האטמוספרה בתוך הכבשן בטמפרטורות גבוהות, מסיר את התחמוצת על פני פסק הסיליקון ומפעיל את אטומי הטומאה בתוך רקיק הסיליקון, ובכך משפר את תכונותיו החשמליות.
הסרת תחמוצות מפני פרוס הסיליקון
פני השטח של פליקי הסיליקון מכילים לעתים קרובות תחמוצות, מה שעלול להשפיע על המוליכות והיציבות שלהם. במהלך תהליך הייצור, יש צורך להסיר תחמוצות משטח פרוסות הסיליקון כדי להבטיח את השמיכות והחלקות שלהם, ובכך לשפר את הביצועים של מכשירי מוליכים למחצה.
תנור הצינור ההוריונטלי יכול להסיר תחמוצות על פני פרוסת הסיליקון דרך בקרת האטמוספירה. במהלך תהליך החישול, האטמוספרה שבתוכה מגיבה עם תחמוצת על פני פס הסיליקון ליצירת חומרים נדיפים, אשר משוחררים לאחר מכן דרך מערכת הפליטה של הכבשן כדי להשיג את המטרה של הסרת התחמוצת.
יישום בטיפול בחום רקיק סיליקון
שליטה על פליקי סיליקון מסוממים
במכשירים מוליכים למחצה, נדרשים פרוס סיליקון המסומם בחומרים שונים בגלל דרישות ביצועי חשמל משתנות. תנור הצינור ההוריונטלי יכול להשתמש בפרמטרים שונים של בקרת אטמוספרה כדי לשלוט על מידת ועומק הסמים של פליקי הסיליקון, על מנת לעמוד בדרישות של מכשירים שונים עבור סמים של רקיק סיליקון.
במהלך תהליך הסמים, פסק הסיליקון ממוקם בתוך תנור צינור הוריונטל, והאטמוספרה שבתכננה מגיבה עם רקיק הסיליקון, ומאפשרת לאטומים המסוממים להיכנס לפנים של רקיק הסיליקון. על ידי התאמת פרמטרים כמו אטמוספרה וטמפרטורה בתוך הכבשן, ניתן לשלוט על מספר האטומים המסוממים והפצה כדי להשיג את אפקט הסמים הרצוי.
הכנת סרטים דקים על פני רקיק הסיליקון
בייצור מוליכים למחצה, לעיתים יש צורך להכין סרט דק על פני השטח של רקיק סיליקון כדי לשפר את ביצועיו או להשיג פונקציות ספציפיות. תנור צינור אופקי יכול לשמש להכנת סרטים דקים על פני פרוקי הסיליקון.
בתהליך ההכנה לסרט הדק, פסק הסיליקון ממוקם בתוך צינור אופקי, והאווירה שבתכננה מגיבה עם פני השטח של רקיק הסיליקון בטמפרטורות גבוהות כדי לייצר את הסרט הדק הרצוי. על ידי התאמת פרמטרים כמו אטמוספרה, טמפרטורה וזמן התגובה בתוך הכבשן, ניתן לשלוט על עובי, ההרכב והתכונות של הסרט.
חמצון וחנקות של פליקי סיליקון
חמצון וחנקן של פרוסת סיליקון הם שלבי תהליכים חשובים בייצור מוליכים למחצה. תנור צינור אופקי יכול לשמש לחמצון וטיפול חנקני בפליקי סיליקון.
במהלך תהליך החמצון, פסק הסיליקון ממוקם בתא הכבשן של תנור צינור אופקי, והחמצן בתא הכבשן מגיב עם פני השטח של רקיק הסיליקון בטמפרטורה גבוהה ליצירת סרט דו תחמוצת סיליקון. על ידי התאמת פרמטרים כמו ריכוז חמצן, טמפרטורה וזמן התגובה בתוך הכבשן, ניתן לשלוט על עובי ותכונותיו של סרט הסיליקון הדו -חמצני.
במהלך תהליך החנקן, פסק הסיליקון ממוקם בתוך תנור צינור אופקי, וגז החנקן בתוך הכבשן מגיב עם פני השטח של רקיק הסיליקון בטמפרטורות גבוהות ליצירת סרט ניטריד סיליקון. לסרטים דקים של סיליקון ניטריד יש עמידות מעולה בלאי, עמידות בפני קורוזיה ויציבות בטמפרטורה גבוהה, אשר ניתן להשתמש בה כדי להגן על פני השטח של פליקי הסיליקון או להשיג פונקציות ספציפיות.
יישומים אחרים של תנור צינור אופקי בייצור מוליכים למחצה
תהליך מתכת
תהליך מתכת הוא אחד הצעדים החשובים בייצור מוליכים למחצה, המשמשים ליצירת אלקטרודות מתכתיות או חוטים על פליקי סיליקון. ניתן להשתמש בתנורי צינור אופקיים לחישול טיפול בתהליכי מתכות לשיפור ההדבקה והיציבות של אלקטרודות מתכת או חוטים.
במהלך תהליך החישול, פסק הסיליקון המתכת ממוקם בתא הכבשן של תנור צינור אופקי ונשמר בטמפרטורה גבוהה למשך תקופה כדי לבצע את הקשר בין האלקטרודה או החוט המתכת לבין פליגת הסיליקון, ובכך לשפר את הידבונו ויציבותו.
תהליך תחריט
תהליך תחריט הוא צעד המשמש בייצור מוליכים למחצה כדי להסיר חומר עודף מעל פני פרוס הסיליקון. ניתן להשתמש בתנור צינור אופקי לצורך חישול טיפול לאחר תהליך תחריט להסרת נזק ולחץ שנוצר במהלך תהליך התחריט.
במהלך תהליך החישול, פסק הסיליקון החרוט ממוקם בתוך תנור צינור אופקי ונשמר בטמפרטורה גבוהה למשך תקופה מסוימת, ומשחרר בהדרגה את הלחץ הפנימי של רקיק הסיליקון וסידר מחדש את הסריג, ובכך מסיר את הנזק והלחץ שנוצר במהלך תהליך התחריט.
תהליך אריזה
תהליך האריזה הוא השלב האחרון בייצור מוליכים למחצה, המשמש להכנת מכשירי מוליכים למחצה בתוך פגזי מגן כדי לשפר את אמינותם ויציבותם. ניתן להשתמש בתנור צינור אופקי לחישול טיפול בתהליכי אריזה להסרת לחץ ונזק שנוצר במהלך תהליך האריזה.
במהלך תהליך החישול, מכשיר המוליכים למחצה המנוסה ממוקם בתוך תנור צינור אופקי ונשמר בטמפרטורה גבוהה למשך תקופה כדי לשחרר בהדרגה את הלחץ בתוך חומר האריזה, לסדר מחדש את הסריג ולהסיר את הלחץ והנזק שנוצר במהלך תהליך האריזה.
הפחיתו את טמפרטורת הפליטה-משפיעים על יעילות תרמית
עיצוב קטע הסעה אופטימיזציה
הגדל את מספר צינורות ההסעה
על ידי הגדלת מספר צינורות ההסעה, ניתן להרחיב את אזור המגע בין גז הפליטה למשטח החימום, כדי לשפר את יעילות חילופי החום ולהפחית את טמפרטורת הפליטה.
סידור צינורות הסעה אופטימיזציה
סידור סביר של צינור הסעה הופך אותו ליעיל יותר ללכוד ולהעביר את חום גז הפליטה. לדוגמה, ניתן להשתמש בפריסה או פריסת ספירלה מפוארת כדי להגדיל את נתיב הזרימה וזמן המגורים של עשן בצינור.
שפר את יעילות פני החימום
השתמש בחומרי העברת חום יעילים
בחר חומרים עם מוליכות תרמית גבוהה לייצור משטחי חימום, כמו נירוסטה, סגסוגת נחושת וכו ', כדי לשפר את יעילות חילופי החום.
שמור על משטח החימום נקי
נקה באופן קבוע את האבק והלכלוך על משטח החימום ושמור על פני השטח שלו נקי כדי לשפר את יעילות העברת החום. הצטברות אבק ולכלוך יפחיתו את ביצועי העברת החום של משטח החימום, וכתוצאה מכך עלייה בטמפרטורת הפליטה.
התאם את תהליך הבעירה
שליטה סבירה על מקדם אוויר עודף
מקדם עודף האוויר הוא היחס בין אספקת האוויר בפועל לאספקת האוויר התיאורטית. שליטה סבירה על מקדם אוויר עודף, הימנע מדי אוויר יותר מדי לתנור, יכולה להפחית את נפח העשן, ובכך להפחית את טמפרטורת הפליטה.
לשפר את יעילות בעיירת הדלק
על ידי אופטימיזציה של תכנון המבער והתאמת פרמטרי הבעירה, כמו מהירות הזרקת דלק וטמפרטורת תא הבעירה, ניתן לשפר את יעילות הבעירה של הדלק, וניתן להפחית את כמות הדלק הבעירה הלא שלם, ובכך להפחית את טמפרטורת הפליטה.
הגדל ציוד לשחזור חום פסולת
התקן לפני כן
מזערי האוויר יכול להשתמש בחום הפסולת של גז הפליטה כדי לחמם מראש את האוויר הנכנס לתנור, ובכך לשפר את יעילות הבעירה ולהפחתת טמפרטורת הפליטה.
הגדר פסולת דוד חום
דוד חום הפסולת יכול לשחזר את חום הפסולת בגז הפליטה ולהמיר אותו לאנרגיה שימושית כמו קיטור או מים חמים, ובכך להפחית את טמפרטורת הפליטה ולשפר את יעילות ניצול האנרגיה.
אמצעים אחרים
חיזוק מדדי הבידוד
טיפול בשימור חום טוב לגוף הכבשן של תנור הצינור האופקי יכול להפחית את אובדן החום ולהפחית את טמפרטורת הפליטה.
תחזוקה ותחזוקה שוטפת
תחזוקה ותחזוקה שוטפת של תנור הצינור האופקי, כגון בדיקת משטח החימום, ניקוי האפר, התאמת פרמטרי הבעירה, יכולה להבטיח את פעולתו הרגילה ולהפחית את טמפרטורת הפליטה של העשן.
יש לציין כי בתהליך הפחתת טמפרטורת הפליטה של העשן, יש לקחת בחשבון גורמים כמו הכלכלה, הבטיחות והאמינות של הציוד באופן מקיף. יחד עם זאת, יש צורך לבחור גם את המדדים והשיטות המתאימים בהתאם לדרישות התהליך הספציפיות ותנאי ההפעלה.
בנוסף, כאשר טמפרטורת הפליטה נמוכה מדי, היא עלולה לגרום לקורוזיה של נקודת טל טמפרטורה נמוכה על פני חילופי החום. לכן, בבחירת טמפרטורת הפליטה, יש לשקול גורמים כמו יעילות תרמית וחיי ציוד כדי להבטיח שטמפרטורת הפליטה יכולה להפחית את אובדן החום מבלי לגרום נזק לציוד.
תגיות פופולריות: תנור צינור אופקי, יצרני תנור צינורות אופקיים בסין, ספקים, מפעל
שלח החקירה
